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精密烤膠機，高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠臺，高精度烘膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。

電子真空儲存柜，半導體真空存儲箱主要用于儲存光學零件、半導體元器件、金屬材料、精密機械、電子零件、化工產(chǎn)品、化工原料、稀土材料、藍景膜、厭氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍貴食品，肉食蔬菜果品及中西藥品以及易潮濕的衣物床上用品等。

HAST可靠性試驗機，高加速壽命試驗箱被廣泛應用于國防、航天、汽車部件、電子零配件、塑膠、制藥等行業(yè)相關之產(chǎn)品作加速壽命試驗。當HAST試驗應用于產(chǎn)品的設計階段時,可以快速暴露產(chǎn)品的缺陷和薄弱環(huán)節(jié)，特別是線路板,多層線路板,IC半導體,LCD,磁鐵等產(chǎn)品之密封性能的檢測, 測試其制品的耐壓性,氣密性。

抗粘 劑氣相涂布烘箱，抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（NIL）應用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中硅烷涂膠；以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

程控式氮氣潔凈烤箱，四箱充氮烘箱工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，可設定定值運行、程序（曲線）運行自由切換，并有自動恒溫及時間控制，并附設有超溫自動停止加熱及報警電路，控制可靠，使用安全。

掩膜版烘烤機，光罩版恒溫熱板適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結和考核等工藝。